洁净厂房（俗称超净间、洁净室）是空气悬浮粒子浓度受控的房间，它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子，室内其他有关参数温度、湿度、压力等按照要求进行控制。洁净室以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分洁净程度。
按空气中悬浮粒子浓度来划分。一般来说，数值越小，代表净化级别越高。即十级＞百级＞千级＞万级＞十万级＞三十万级＞百万级。
一、百级洁净室标准：
1.洁净度
粒径大于等于0.1微米的*大微粒数不能大于100个。
2.压差及温湿度
温度22℃±2；湿度55%±5；基本需要满布ffu，做高架地板。做MAU+ffu+DC系统。还有保持正压，相邻房间压力梯度保证在10pa左右。
3.照度
由于无尘洁净室的工作内容大多有精细的要求，而且又都是密闭性房屋，所以，对照明一向有很高的要求。主要有以下几点：
局部照明:这是指为増加某一指定地点的照度而设置的照明。但在室内照明中一般不单独使用局部照明。
混合照明:指工作面上的照度由一照明和局部照明合成照明，其中，一般照明的照度应占总照度的10%-15%。
二、千级洁净室标准：
1.洁净度
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
2.压差及温湿度
对于大部分净化无尘车间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力；洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种隙时的阻力。
三、万级洁净室标准：
1.洁净度
洁净度10000级cleanliness class10000(P2万级实验室即S07级)即大于等于0.5um的尘粒数大于35000粒/m3(35粒/)到小于等于35000粒/m3(350粒/于等于5um的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒)到小于等于3000粒/m3(3粒压差及温湿度控制。
2.温度及湿度
干盘管系统控制。空调箱调节通过感测的信号控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量。
四、十万级洁净室标准：
1.洁净度
100000(10万)级洁净室是指工作车间里面每立方米的微粒控制在10W以内洁净室的生产车间主要应用于电子行业和药品行业，食品行业如果有10万级的生产车间是相当不错的。10000(10万)级洁净室要求每小时换气15-19次，完全换气后空气净化时间不超过40分钟。
2.压差
相同洁净度等级的洁净室压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要5Pa，洁净室与非洁净室之间要＞10pa。
3.温度及湿度
十万级洁净室对温度、湿度无特殊要求时，以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜，温度般控制在冬季20~22℃夏季24~26℃C波动±2C。冬季洁净室湿度控制在30-50%夏季洁净室湿度控制在50-70%。照度洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜>；300Lx:辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气室、走廊等的照度值宜为200~300L。
五、三十万级洁净室标准：
1.洁净度
每立方米大于或等于0.5um的尘粒不能超过10，500，000个；每立方米大于或等于5um的尘粒不能超过60，000个；每立方米浮游菌数量不能超过1000个。
2.压差及温度控制
压差：不同洁净级别室(区)之间，静压差大于或等于5PA；洁净室(区)与室外，静压差大于或等于10PA。
六、百万级化车间标准：
1.洁净室的空气洁净度测试
空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。
静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。
2.送风量或风速
足够的通风换气量是为了稀释和排除室內污染空气，根据不同的洁净度要求，当洁室净高较高时，适当增加换气次数。其中，100万级洁室的通风量是按高中效浄化系统考虑，其余均按高效浄化系统考虑。般要经过初效过滤、中效过滤、高效过滤三个过滤段（甚至还有超高效过滤器，四段过滤）。气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化，重复这样的一系列过程，即可达到净化的目的。
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